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液體氣體混合配比器 用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。 它們在半導體微電子工業、特種材料研制、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括； 電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等

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